事業内容

Business

流体制御機器

Fluid control devices

当社が製造する流体制御機器は、お客様の用途に応じた製品を開発・設計・製造しております。
流体の流量を正確に計測・制御する性能を持った機器をご提供させて頂きます。

バルブ製品

Valve products

バルブ製品

あらゆる分野でご使用頂ける圧力制御機器や流量制御機器など、最適な製品を取り揃えております。

用途

分析機器用微圧、微少流量制御から半導体工業用まで。

精密流量制御バルブ

形式番号

形式

用途

流量レンジ

MV1000A

ニードルバルブ

分析機器等のガス、
液体の微小流量制御用

70~6000ml/min

CF1000A/
CF2000A

フローコントロールバルブ

分析機器等
一次圧、二次圧変動タイプあり

100~30000ml/min

LC2100A

液体用フロー
コントロールバルブ

液体用サンプリング(気泡抜き対応)

30~300ml/min(水)
圧力制御バルブ

形式番号

形式

用途

設定圧力

RD1200A

Φ50減圧弁

分析機器等のガスライン用

5.88~588kPa

RD1400A

□40減圧弁

分析機器等のガスパネル計装用

5.88~588kPa

RD1410B

□40メタルダイヤフラム減圧弁

高精度分析機器及び高温ガス用

5.88~588kPa

RD1500A

Φ70減圧弁

ガスラインの低差圧制御用

2.94~196kPa

RD2210A

Φ50メタルダイヤフラム減圧弁

半導体工業等のガス用

17.15~2058kPa

HA1100A

□25ブロック型減圧弁

分析機器等のガス集積パネル専用

30~70kPa

LR1200A

Φ50水用減圧弁

サンプリングライン用(水)

29~294kPa

RU1400A

□40背圧弁

タンクやポンプ等の圧力制御用
(ガス)

5.88~588kPa

RU1500A

Φ70背圧弁

タンクの圧力制御及び低圧制御用
(ガス)

2.94~196kPa

RU2210A

Φ50メタルダイヤフラム背圧弁

高純度ガス及び腐食性ガス用

17.15~1372kPa

RV2210A

Φ50メタルダイヤフラム負圧減圧弁

高純度、腐食性ガス及び
低蒸気圧ガス用

-98~490kPa

マスフロー製品

Mass flow products

マスフロー製品

ローコストタイプから高精度タイプ、表示部付き、デジタル制御等、各種取り揃えております。

用途

分析機器用から半導体産業用まで。

形式番号

形式

用途

流量レンジ

HM1000B

ローコストマスフロー

一般工業、分析用

5SCCM~20SLM

HM1400B

ローコストマスフロー

一般工業、分析用 24VDC駆動

5SCCM~20SLM

HM5000B

汎用/高性能マスフロー

一般工業、プロセス用

5SCCM~400SLM

HM5300A

マスフローコントローラ

一般工業、プロセス用 24VDC駆動

5SCCM~400SLM

HM5400B

汎用、高性能マスフロー

一般工業、プロセス用 24VDC駆動

5SCCM~400SLM

HM5500A

デジタルマスフロー

一般工業、プロセス用デジタル制御

5SCCM~400SLM

HM9500B

小型フローセンサ

各種ガス流量モニタ用

5SCCM~1SLM

HM9700A

小型フローメータ

各種ガス流量モニタ用

1SLM~200SLM

PM1000B

電源付流量設定表示器

マスフローコントローラ用

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ポンプ製品

Pump products

ポンプ製品

インクなどの少量吐出に適したダイヤフラムポンプです。

用途

溶剤などの供給及び回収用

形式番号

形式

用途

流量レンジ

YH1104A

小型ダイヤフラムポンプ

少流量液体用(耐蝕型)

160~500ml/min迄各種

PD3300A01/
3600A01

小型ダイヤフラムポンプ

液体用

300ml/minまたは600ml/min

PD5500A

ダイヤフラム式エアーポンプ

一般大気用

4.7l/min
お気軽にお問い合わせください。