事業内容

Business

半導体製造装置 / 分析・試験装置

Semiconductor, analysis and testing equipment

当社の半導体製造装置は、お客様が必要とする製造システムを提供しております。
又、分析試験装置は、設計・製作を一貫して対応できるメーカーとして、
各方面にてお引き立ていただいております。

半導体・その他装置

Semiconductor other equipment

有機金属化学気相成長装置(MO-CVD)

有機金属化学気相成長装置(MO-CVD)

減圧された反応炉で有機金属化合物(Ⅲ-Ⅴ族)と水素化合物を熱分解し、基板上に化合物半導体結晶をエピタキシャル成長させます。

減圧式化学的気相成長装置(LP-CVD)

減圧式化学的気相成長装置(LP-CVD)

減圧された反応炉で多結晶シリコン(SiN膜、Poly-Si膜)又は酸化膜を基板上に形成させ
ます。

半導体成膜用液体材料供給器

半導体成膜用液体材料供給器

半導体薄膜形成に必要な化学反応ガスの原料を液体で供給します。有機系材料、腐食性材料等ご使用になる液体材料に合わせ各種対応しております。

分析・試験装置

Analysis and testing equipment

触媒関連装置

触媒評価装置

触媒評価装置

様々な用途に合わせて装置を製作いたします。原料ガス・液、温度、圧力、流量、分析、自動・手動制御などご提示頂ければ、見積り・資料の作成等をいたします。

全自動触媒ガス吸着量測定装置

全自動触媒ガス吸着量測定装置

バルス法による触媒ガス吸着量測定装置です。サンプルセット後は分析とデータ処理を自動で行います。4サンプル又は6サンプルの連続測定が可能です。

ガス吸着量測定装置

ガス吸着量測定装置

バルス法による触媒ガス吸着量測定装置です。サンプルセット後は分析とデータ処理を自動で行います。

コンパクトフロー

コンパクトフロー

迅速に分析のできるマイクロガスクロを搭載したコンパクトな触媒反応システムです。
 

触媒評価装置用ソフトウェア

触媒評価装置用ソフトウェア

装置全体の運転画面で温度、流量などさまざまな情報を監視する事ができます。

分離膜関連装置

メンブレン評価装置

メンブレン評価装置

様々な膜形状、用途に合わせて装置を製作いたします。

燃料電池関連装置

燃料電池小型単セル試験装置

燃料電池小型単セル試験装置

温度、湿度、流量を変化させ様々な条件で燃料電池の特性試験ができます。

お気軽にお問い合わせください。