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事業紹介
半導体・その他装置
有機金属化学的気相成長装置
減圧式化学的気相成長装置
横型酸化・拡散炉システム
半導体成膜用液体材料供給器
ライフタイムプロファイラ
プラズマ・イオンプレーティング成膜装置
減圧式化学的気相成長装置(LP-CVD)
減圧された反応炉で多結晶シリコン(SiN膜、Poly−Si膜)又は酸化膜を基板上に形成させます。
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