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事業紹介
半導体・その他装置
有機金属化学的気相成長装置
減圧式化学的気相成長装置
横型酸化・拡散炉システム
半導体成膜用液体材料供給器
半導体成膜用液体材料供給器
半導体薄膜形成に必要な
化学反応ガスの原料を液体で供給します。
有機系材料、腐食性材料等ご使用になる液体材料に合わせ各種対応しております。
また、供給方式として個別供給方式と集中供給方式をラインアップし、更にEthernetによるHMIにも対応致します。
当社の液体供給器は国内の先端デバイス工場にて採用され、その信頼性、安定性においてお客様に高い評価を頂いております。
液体供給器についてのお問い合わせは、こちらからお願い致します。
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