Homeへ戻る
事業紹介
半導体・その他装置
有機金属化学的気相成長装置
減圧式化学的気相成長装置
横型酸化・拡散炉システム
半導体成膜用液体材料供給器
ライフタイムプロファイラ
プラズマ・イオンプレーティング成膜装置
半導体成膜用液体材料供給器
半導体薄膜形成に必要な
化学反応ガスの原料を液体で供給します。
AFシリーズは半導体成膜材料用液体供給器です。
有機系材料、腐食性材料等ご使用になる液体材料に合わせ各種準備しております。
また、供給方式として個別供給方式と集中供給方式をラインアップし、更にEthernetによるHMIにも対応致します。
AFシリーズ液体供給器は国内の先端デバイス工場にて採用され、その信頼性、安定性においてお客様に高い評価を頂いております。
AFシリーズ液体供給器についてのお問い合わせは、こちらからお願い致します。
液体材料別供給器選定表
区分 材料名 供給方式 適合性 推奨モデル 備考
絶縁膜系 TEOS 個別 AF2210B/AF2510B  
集中 AF2710A/AF2810B  
TEPO 個別 AF2220B/AF2520B  
TEB 個別 AF2230B/AF2530B  
TEPO/TEB 個別 AF4400C  
OTHER お問い合わせください
Low-k ※A 個別 AF2260B/AF2560B  
4MS 個別 AF2280B/AF2580B  
OTHER お問い合わせください
メタル系
(塩化物系)
TiCl4 個別 AF2240B O3処理品
SiCl4 個別 AF2270B O3処理品
OTHER お問い合わせください
High-k お問い合わせください
モデル別液体供給器一覧表
モデル タイプ サイズ 重量 タンクサイズ 備考
AF1100A SINGLE 600*1700*500 170kg Φ360MAX  
AF1700A SINGLE 600*1700*500 170kg Φ360MAX 集中供給スレーブ機
AF2100A RECHARGE 1000*1550*500 200kg Φ360MAX NON PURGE PORT
AF2200A AUTO CHANGE 1000*1550*500 200kg Φ360MAX NON PURGE PORT
AF2200B AUTO CHANGE 1000*1550*500 200kg Φ360MAX  
AF2500B AUTO CHANGE 700*1750*500 200kg Φ250MAX  
AF2500D DUAL-SOURCE
SINGLE
700*1750*500 200kg Φ250MAX DUAL-SOURCE対応
AF2700A AUTO CHANGE 1000*1550*500 200kg Φ360MAX 集中供給スレーブ機
AF2700B RECHARGE 1000*1550*500 200kg Φ360MAX 集中供給スレーブ機
AF2800B AUTO CHANGE 700*1750*500 200kg Φ250MAX 集中供給スレーブ機
AF4400C DUAL-SOURCE
RECHARGE
900*1750*700 220kg BULK;
Φ250MAX
PROCESS;
8L/12L
DUAL-SOURCE対応
AF5100A AUTO CHANGE 1600*1700*1000 350kg 200L 大容量タイプ
AF5200A AUTO CHANGE 1600*1700*1000 350kg 200L 集中供給マスター機
前のページへ戻る
このページの先頭へ
ヘンミ計算尺株式会社 個人情報保護方針 サイトマップ お問い合わせ