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事業紹介
流体制御機器[バルブ]
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圧力制御バルブ
メタルダイアフラム負圧弁
RV2210Aシリーズ
ドーピング、エピタキシャル等の半導体工業用
特殊ガス、高純度ガス、腐蝕性ガス用
(WF6、CCl4等の蒸気圧の低いガス)
ダイアフラムは本体と金属接合シールされています。
全品Heリークチェック済みです。
禁油、禁水、清浄処理品です。
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仕様
形式番号 

RV2210A

耐圧 
2.94MPa
使用一次圧
Max 970kPa
設定圧力
−98〜19.6, 98, 490kPa迄各種
有効オリフィス
φ2
Cv値 
0.1
一次特性 
1%
再現性 
0.98kPa
ヒステリシス
3.92kPa
外部リーク
1×10-10Pa・m3/s(He)以内
内部リーク
1×10-8Pa・m3/s(He)以内
接ガス材質
SUS316, SUS316L, PCTFE
使用温度範囲
−10〜80℃
ポート(数)
60°IN (2), OUT (2) 標準
接続
NPT 1/4 標準
質量
960g
パネルカット
φ33
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