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事業紹介
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低圧背圧弁
RU1500Aシリーズ
ガス混合用
タンク圧制御用
ポンプ圧制御用
軽量コンパクトでパネル計装に最適
高精度制御
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仕様
形式番号 
RU1500A
RU1501A
耐圧 
784kPa
設定圧力
2.94〜196kPa 各種
有効オリフィス
φ4
Cv値 
0.4
圧力特性
1.17kPa
再現性 
0.49kPa
ヒステリシス
0.98kPa
外部リーク 
5×10-8Pa・m3/s(He)以内
接ガス材質
SUS316, PTFE
A2011, C3604B, PTFE
使用温度範囲
0〜60℃
ポート(数)
180°IN (1), OUT (1), 標準
接続
Rc 1/4 標準
質量
950g
500g
パネルカット
φ13
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