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事業紹介
流体制御機器[バルブ]
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圧力制御バルブ
メタルダイヤフラム減圧弁
RD2210Aシリーズ
ドーピング、エピタキシャル等の半導体工業用
各種化学分析用
特殊ガス、高純度ガス、腐食性ガス用
ダイヤフラムは本体と金属接合シールされています。
全品Heリークチェック済です。
禁油、禁水、清浄処理品です。
高圧用、低圧用の2種類があります。
パネルマウント、ボトムマウントが可能です。
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仕様
形式番号
RD2210A1010
RD2210A4020
耐圧
24.5MPa
2.94MPa
使用一次圧力
Max 14.7MPa
Max 1.96MPa
設定圧力
17.15〜2058kPa 各種
17.15〜686kPa 各種
有効オリフィス
φ0.7
φ2
Cv値
0.015
0.1
一次圧特性
0.5%
1.3%
再現性
0.98kPa
ヒステリシス
3.92kPa
外部リーク
1×10-10Pa・m3/s(He)以内
内部リーク
1×10-8Pa・m3/s(He)以内
接ガス材質
SUS316, SUS316L, PCTFE
使用温度範囲
-10〜80℃
ポート(数)
60°IN(2), OUT(2)
90°IN(1), OUT(2)
接続
NPT 1/4 標準
質量
920g
パネルカット
φ33
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