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事業紹介
流体制御機器[バルブ]
バルブ製品
マスフロー製品
ポンプ製品
圧力制御バルブ
低圧減圧弁
RD1410Bシリーズ
高精度ガスクロマトグラフ用
各種精密化学分析用
メタルダイヤフラム適用
高温使用可能
高精度制御
内部、外部リークが非常に少ない
軽量コンパクトでパネル計装に最適
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仕様
形式番号
RD1410B
RD1411B
耐圧
1460kPa
使用一次圧力
Max 970kPa
設定圧力
5.88〜588kPa 各種
有効オリフィス
φ0.66
Cv値
0.01
一次圧力特性
0.8%
再現性
4.9kPa
ヒステリシス
0.98kPa
外部リーク
5×10-10Pa・m3/s(He)以内
内部リーク
5×10-8Pa・m3/s(He)以内
接ガス材質
SUS316, FKM
A2011, C3604, SUS316, FKM
使用温度範囲
0〜120℃
ポート(数)
底面IN(1), OUT(1) 標準
接続
5/16-24UNF SAE/MSタイプ(標準)
質量
450g
280g
パネルカット
φ13
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