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事業紹介
流体制御機器[バルブ]
バルブ製品
マスフロー製品
ポンプ製品
精密流量制御バルブ
マイクロバルブ
MV1000Aシリーズ
・ガス分析機器
・ガス制御装置
・ガス、液体の微小流量制御
・微小流量の精密制御が可能
・直線運動構造のニードル適用
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仕様
形式番号 MV1000A
耐圧 1460kPa
使用一次圧力 Max 970kPa
流量レンジ 70〜6000ml/min(at9.8kPa差圧N2ガス)各種
積み回転数 約14回転
外部リーク 1×10-7Pa・m3/s(He)以内
接ガス材質 SUS316,PTFE,FKM C3604,PTFE,CR
使用温度範囲 0〜110℃ 0〜80℃
接続 Rc1/8またはRc1/4
質量 約170g 約160g
パネルカット φ13
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