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仕様
型式番号

HA1100A1441

使用流体
乾燥エア、不活性ガス
耐圧
Max196kPa
一次圧力範囲
100±20kPa
設定圧力範囲
50±20kPa
流量範囲
30〜300ml/min Air
一次圧力特性
設定圧力の±2%以内:
設定圧力変化巾(一次圧力100±20kPa時)
×100値

設定圧力

負荷特性
3.92kPa以内 : 設定圧力変化巾
(一次圧力100kPa、流量30〜3000ml/min 変化時)
圧力降下
49kPa以内
再現性
設定圧力の±2%以内
ヒステリシス
1kPa以内:設定圧力最大変化巾 (一次圧力100±20kPa往復変化時)
外部リーク
1×10E7Pa・m3/s(He)以内
内部リーク
5ml/min以内:一次圧力196kPa Air時
接流体材質
A2011、SUS304、FKM、PEEK
使用温度範囲
0〜60℃
ポート
側面(IN、OUT、CHECK PORT)
接続
IN、OUT(専用マニホールド) CHECK PORT(専用継手)
質量
約50g
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