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事業紹介
流体制御機器[マスフロー製品]
バルブ製品
マスフロー製品
ポンプ製品
小形フローセンサ
HM9500シリーズ
一般工業用
各種化学分析用
溶接、ガス封入、レーザー機器他
各種流量モニタ
フロート式流量計の代替品
小形軽量マスフローメータ
ガス温度、ガス圧力の影響を受けない
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仕様
名称 小形フローセンサ
形式  HM9500B
流量 5SCCM〜1SLM各種
測定範囲 0〜100%
応答性 約4秒
精度 ±5%
直線性  ±3%
再現性 ±1%
適用ガス  N2、Air、O2、H2、He、Ar
接ガス材質 POM、SUS316、FKM
出力信号 0〜5VDC
使用温度 5〜45℃(ガス温度も同じ)
温度特性 ±0.2%/℃ (15〜35℃における)
最高動作圧力 500kPa
耐圧 700kPa
リーク 1×10-6Pa・m3/s(He)以内
取付姿勢 自由(±1%)
継手 RC1/8 (標準)
電源 24VDC、50mA
質量 約150g
付属品 コネクタ付ケーブル(1m)
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