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事業紹介
流体制御機器[マスフロー製品]
バルブ製品
マスフロー製品
ポンプ製品
ウルトラクリーン マスフローコントローラ
HM6500シリーズ(ノーマルクローズタイプ)
各種半導体製造プロセス用
新素材デバイス研究開発用
腐食性ガスラインの流量制御
ステンレスダイヤフラム、メタルOリング採用
ウルトラクリーン処理が可能
デッドボリュウム極少
取付姿勢自由
ピエゾアクチュエータ採用
5SCCM〜30SLMまで同一サイズ
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仕様
分   類 クリーンタイプ ウルトラクリーンタイプ
形   式 HM6514A HM6541B
流   量 5SCCM〜30SLM 10〜30SLM 5SCCM〜5SLM 10〜30SLM
制御範囲 2〜100%F.S
精   度 ±1% F.S
直 線 性 ±0.5% F.S
再 現 性 ±0.2% F.S
応 答 性 1秒以下 (98% of Span)
耐   圧 980kPa
動作差圧  50〜300kPa 70〜300kPa 50〜300kPa 70〜300kPa
リーク規格 1×10-11Pa・m3/s(He)以内
使 用 温 度 5〜45℃(ガス温度も同じ)
流量設定信号 5kΩポテンショメータ又は外部0−5VDC(1−5VDCはオプション)
流量出力信号 0−5VDC(1−5VDCはオプション)
接ガス材質 SUS316L
継     手 φ1/4” VCR相当品
取 付 姿 勢 自由
質    量 約900g
面間×幅×高さ 124×34×112
駆 動 電 源 +15VDC±0.3%  50mA
−15VDC±0.3%  60mA
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