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事業紹介
流体制御機器[マスフロー製品]
バルブ製品
マスフロー製品
ポンプ製品
デジタル・マスフローコントローラ
HM5500Aシリーズ
一般工業プロセス用
各種化学分析用
新素材等の研究開発用
デジタル制御方式
流量レンジは最小5SCCM、大流量側で400SLMまで拡大
ハイブリッドIC化による信頼性向上と小形化
通信機能:RS-485またはRS-232C
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仕様
■マスフローコントローラ
区分 高性能
形式 HM5541A HM5542A
HM5543A
流量
(標準レンジ)
5/10/20/30/50/
100/200/300/
500/1000
SCCM
2/3/5/10/
20SLM
30/50/
100/200
SLM
400SLM
精度 ±1% S.P. (25-100%)
±0.25% F.S. (<25%)
±2% (50-100%)
±1% (<50%)
直線性 ±0.5% F.S.
再現性 ±0.2%
制御範囲 スパンの2〜100%
応答性 設定値の±2%まで1秒以内
最高動作圧力 970kPa
耐圧 1470kPa
動作差圧 34.3〜274.4kPa:5SCCM〜5SLM
68.6〜274.4kPa:10SLM〜200SLM
107.8〜274.4kPa:400SLM     
リーク規格 1×10-9Pa・m3/s(He)以内
設定信号 0.1〜5VDC
出力信号 0〜5VDC
使用温度 5〜45℃(ガス温度も同じ)
接ガス材質 SUS316 Viton® テフロン
継手 標準:Swagelok®1/4”(5SCCM〜20SLM)
3/8”(30〜100SLM)、1/2”(200〜400SLM)
取付姿勢 取付姿勢は自由(±0.5%ofSPAN)
質量 750g 3kg 3.7kg
駆動電源 ±15VDC
消費電力 6W以内 8W以内
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