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事業紹介
流体制御機器[マスフロー製品]
バルブ製品
マスフロー製品
ポンプ製品
マスフローコントローラ
HM5300シリーズ
一般工業プロセス用
各種化学分析用
新素材等の研究開発用
供給電源 :24V電源、単電源
流量出力 :4〜20mADC(標準)
  オプション
通信機能 :RS-485またはRS-232C
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仕様
形式
HM5372A
HM5341A
HM5342A
HM5343A
流量
(標準レンジ)
30SLM〜200SLM
5SCCM〜20SLM
30SLM〜200SLM
400SLM
精度 注1
±2%F.S
±1% F.S
±2% F.S
直線性
±1% F.S
±0.5% F.S
±1% F.S
再現性
±0.4% F.S
±0.2% F.S
±0.4% F.S
制御範囲
スパンの2〜100%
応答性
フルスケール設定時の±2%到達3秒以内
最高動作圧力
970kPa(G)
耐圧
1470kPa(G)
動作差圧
34.3〜274.4kPa:5SCCM〜5SLM
68.6〜274.4kPa:10SLM〜200SLM
リーク規格
1×10−9Pa・m3/s(He)以内
設定信号
1.08〜5VDC(オプション:4.32〜20mA)
出力信号
4〜20mA/550ΩMax(オプション:1〜5VDC)
使用温度
0〜45℃(ガス温度も同じ)
温度特性 注2
±0.2%F.S/℃以内
±0.1%F.S/℃以内
接ガス材質
SUS316、バイトン、テフロン
継手
標準:スウェジロック
1/4”:5SCCM〜20SLM 3/8”:30SLM〜100SLM 1/2”:200SLM〜400SLM
取付姿勢
自由(±0.5% of Span)
質量
3.2kg
790g
3.2kg
3.6kg
電源
24VDC +5%、−10%
消費電力 注5
8W以内
5W以内
8W以内
8W以内
外形寸法
(面間×幅×高さ)
注3
138×50×130.5
196×50×174.1
75.4×25×118.6
126.8×25×162.2
138×50×130.5
196×50×174.1
141×50×140.5
204.6×50×184.1
強制バルブ
24Vに接続時:バルブ開、0Vに接続時:バルブ閉
ソフトスタート
機能 注4
オプション(モジュール)
コネクタ(電気)
D-sub(9P)
注1
・設定値と実流量値の誤差。
・周囲温度:25℃±1℃
注2
5〜45℃における実流量値の変化量
注3
上段:継手、コネクタを除く。下段:継手、コネクタを含む。
注4
通信仕様品は除く。
注5
通信仕様品は約1W増加。
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