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事業紹介
流体制御機器[マスフロー製品]
バルブ製品
マスフロー製品
ポンプ製品
マスフローメータ・マスフローコントローラ
HM5000シリーズ
一般工業プロセス用
各種化学分析用
新素材等の研究開発用
豊富なバリエーション 高精度から汎用品まで
流量レンジは最小5SCCM、大流量側で400SLMまで拡大
ハイブリッドIC化による信頼性向上と小形化
オプションで機能upと性能upが可能
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仕様
■マスフローメータ
区分 汎用 高性能
形式 HM5122B HM5123B HM5111B HM5112B HM5113B
流量
(標準レンジ)
30/50/
100/200 SLM
400SLM 5/10/20/30/50/
100/200/300/
500/1000
SCCM
2/3/5/10/
20SLM
30/50/
100/200
SLM
400SLM
精度 ±2% ±4% ±1% ±2%
直線性 ±1% ±0.5%
再現性 ±0.4% ±0.2%
応答性 2秒以内(98%of SPAN)
最高動作圧力 970kPa
耐圧 1470kPa
圧力損失 9.8kPa 15.7kPa 4.9kPa 9.8kPa 15.7kPa
リーク規格 1×10-9Pa・m3/s(He)以内
出力信号 0〜5VDC
使用温度 5〜45℃(ガス温度も同じ)
接ガス材質 SUS316 Viton®
継手 標準:Swagelok® 1/4”(5SCCM〜20SLM)
 3/8”(30〜100SLM) 1/2”(200〜400SLM)
取付姿勢 取付姿勢は自由(±0.5%ofSPAN)
質量 1.6kg 2kg 600g 1.6kg 2kg
駆動電源 ±15VDC
消費電力 1W以内
■マスフローコントローラ
区分 汎用 高性能
形式 HM5172B
HM5182B(N0)
HM5173B HM5141B
HM5151B(NO)
HM5142B
HM5152B(NO)
HM5143B
流量
(標準レンジ)
30/50/
100/ 200
SLM
400SLM 5/10/20/30/50/
100/200/300/
500/1000
SCCM
2/3/5/10/
20SLM
30/50/
100/200
SLM
400SLM
精度 ±2% ±4% ±1% ±2%
直線性 ±1% ±0.5%
再現性 ±0.4% ±0.2%
制御範囲 スパンの2〜100%
応答性 設定値の±2%まで2秒以内
最高動作圧力 970kPa
耐圧 1470kPa
動作差圧 34.3〜274.4kPa:5SCCM〜5SLM
68.6〜274.4kPa:10SLM〜200SLM
107.8〜274.4kPa:400SLM     
リーク規格 1×10-9Pa・m3/s(He)以内
設定信号 0.1〜5VDC
出力信号 0〜5VDC
使用温度 5〜45℃(ガス温度も同じ)
接ガス材質 SUS316 Viton® テフロン
継手 標準:Swagelok®1/4”(5SCCM〜20SLM)
3/8”(30〜100SLM)、1/2”(200〜400SLM)
取付姿勢 取付姿勢は自由(±0.5%ofSPAN)
質量 3kg 3.7kg 750g 3kg 3.7kg
駆動電源 ±15VDC
消費電力 5W以内 3W以内 5W以内
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