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事業紹介
流体制御機器[マスフロー製品]
バルブ製品
マスフロー製品
ポンプ製品
マスフローメータ・マスフローコントローラ
HM1000Bシリーズ
一般工業用
各種化学分析用
各種の流量・測定・制御・混合・分割システム
手軽に使えるエコノミー価格
仕様は高性能品並み
使い易い
5SCCM〜20SLMまで同一サイズ
弊社他機種との互換性あり
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仕様
分類
マスフローメータ
マスフローコントローラ
区分
低価格
汎用
低価格
汎用
形式
HM1121B
HM1111B
HM1171B(NC)
HM1181B(NO)
HM1141B(NC)
HM1151B(NO)
流量
5/10/20/30/50/100/200/300/500/1000SCCM 2/3/5/10/20SLM
制御範囲
 
SPANの2〜100%
精度
±2%
±1.5%
±2%
±1.5%
直線性 
±1%
±0.7%
±1%
±0.7%
再現性
±0.2%
±0.2%
±0.2%
±0.2%
応答性
2秒以内(98%of SPAN)
設定値の±2%まで2秒以内
最高動作圧力
970kPa
耐圧
1470kPa
圧力損失
4.9kPa
 
動作差圧
 
34.3〜274.4kPa:5SCCM〜5SLM
68.6〜274.4kPa:10〜20SLM
リーク規格
1×10-9Pa・m3/s(He)以内
設定信号
 
0.1〜5VDC
出力信号
0〜5VDC
使用温度
5〜45℃(ガス温度も同じ)
接ガス材質
SUS316 Viton®
SUS316 Viton® テフロン
継手
標準:1/4”Swagelok®
取付姿勢
取付姿勢は自由(±0.5%ofSPAN)
質量
680g
800g
駆動電源
±15VDC
消費電力
1W以内
3W以内
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